主要特点：
▏多轴联动环切技术，保证环切精度。
▏定制化工作台设计，保证TAIKO工艺下晶圆特殊结构稳定加工。
▏四工位，多片协调加工，加工效率高。
▏全自动上下料、传输定位、清洗 、解胶、取环，实现全自动运行模式，大大降低OP工作量。
▏稳定的TAIKO外环解胶和取环。
▏兼容性好，与市面上的其他类型设备，关键耗材兼容性高。
▏便捷的操作和人机交互界面。
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最大工作物尺寸 |
mm |
Ø8" |
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主轴 |
配置方式 |
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单轴 |
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转速 |
Rpm |
3,000-60,000 |
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输出功率 |
kW |
1.8(2.4可选) at 30,000min-1 |
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最大刀片径 |
mm |
Ø58 |
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X轴 |
可切割范围 |
mm |
310 |
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Y轴 |
可切割范围 |
mm |
310 |
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单步步进量 |
mm |
0.0001 |
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定位精度 |
mm |
0.003以内/310 0.002以内/5（单一误差） |
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Z轴 |
移动量分辨率 |
mm |
0.00005 |
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重复精度 |
mm |
0.001 |
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θ 轴 |
最大旋转角度 |
deg |
380 |
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主轴形式 |
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单主轴，安装硬刀盘做环形切割 |
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环切精度 |
μm |
±50 |
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晶圆定位精度 |
μm |
±50 |
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单片效率 |
min/片 |
9 |
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多片效率 |
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最多4片同时加工 |
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设备重量 |
Kg |
≈2,800 |
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设备尺寸/ W*D*H |
mm |
2,209*1,554*2,071 |
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